Báo cáo tóm tắt đề tài khoa học và công nghệ cấp ĐH: Nghiên cứu cấu trúc tinh thể của màng tinh thể ALN được nuôi bằng phương pháp mọc ghép pha hơi hyđrua trên đế sapphire được kết cấu rãnh

Mục tiêu nghiên cứu đề tài là thu được công thức tính và giá trị độ uống cong của màng tinh thể AlN do sự không tương thích mạng và nhiệt giữa AlN và α-Al2O3 bằng nhiễu xạ tia X thông thường. Làm sáng tỏ cấu trúc tinh thể vi mô chẳng hạn cấu trúc domain, dao động nghiêng mạng, dao động hằng số mạng bằng phương pháp nhiễu xạ tia X vi mô và kính hiển vị điện tử truyền qua.