Khóa luận tốt nghiệp đại học: Một số nghiên cứu về sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong tinh thể Germanium (Ge)

Để có được các linh kiện bán dẫn kể trên, người ta phải tạo ra hai loại bán dẫn là bán dẫn loại n và bán dẫn loại p bằng cách pha các nguyên tử tạp chất vào Ge (hay Si). Có nhiều phương pháp pha nguyên tử tạp chất vào vật liệu bán dẫn như phương pháp nuôi đơn tinh thể, phương pháp cấy ion, phương pháp khuếch tán,... So với các phương pháp khác thì phương pháp khuếch tán có nhiều ưu điểm như không làm thay đổi cấu trúc tinh thể, có thể pha tạp với chiều sâu tùy ý, cho phép điều khiển tốt hơn các tính chất của tranzito,... Trong khóa luận này, tác giả sẽ tiến hành nghiên cứu về sự tự khuếch tán và khuếch tán của tap ch ̣ ất trong tinh thể Germanium (Ge). Mời các bạn cùng tham khảo